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      • 常見問題

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        真空熔煉爐有哪幾種結(jié)構(gòu)?
        發(fā)布時間:2017-11-13   瀏覽:6588次

          真空熔煉爐采用耐熱鋼制造的真空罐放入電阻爐中,根據(jù)真空熱處理工藝的需要,配接適當(dāng)?shù)恼婵障到y(tǒng),即成為筒單的真空熱處理爐。是由電阻爐,真空罐硬和真空泵真空悶門、真空計等構(gòu)成的真空系統(tǒng)。其熱源在真空的外部,也就是電熱元件設(shè)置在真空罐的外部,工件放在真空罐的內(nèi)部,靠間接加熱。

          真空熔煉爐有以下幾種結(jié)構(gòu):

          1.鐘罩式結(jié)構(gòu)

          這種結(jié)構(gòu)的真空缺座落在爐底上,整個爐底和真空罐可以借助于電動或液壓傳動升降,以完成裝出料操作并能縮短冷卻時間。也可以采取真空罐和爐底固定不動,罩式爐體升降的方法來完成進(jìn)出料操作等,但是爐體升降較為復(fù)雜。采用哪一種方法,要根據(jù)現(xiàn)場實際情況而定。

          2.雙真空結(jié)構(gòu)

          這種結(jié)構(gòu)不僅真空罐內(nèi)部被抽成真空,而且真空罐外部的爐體部分也被抽成真空。這樣,就可以減少真空鑲承受的壓力,避免真空罐外壁氧化和變形,延長了真空罐的使用壽命。

          在使用時還要注意,真空罐是真空甩帶爐的關(guān)鍵性部件。由于真空罐須在高溫和一個大氣壓的外壓條件下工作,所以,真空罐的材料應(yīng)具備良好的熱穩(wěn)定性和耐氧化性,間接性能要好,焊縫不易產(chǎn)生氣孔、開裂,保證高溫氣密性。材料成分中的元素蒸氣壓要低,防止合金元素在高溫、高真空下?lián)]發(fā)。

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        氣相沉積爐操作技巧與安全生產(chǎn)規(guī)范氣相沉積爐作為現(xiàn)代材料制備領(lǐng)域的重要設(shè)備,廣泛應(yīng)用于微電子、光電子、能源及航空航天等多個高科技領(lǐng)域。其操作不僅需要精湛的技巧,更需嚴(yán)格遵守安全生產(chǎn)規(guī)范,以確保設(shè)備的正常運行和操作人員的安全。 一、氣相沉積爐的操作技巧1. 細(xì)致入微的安裝與準(zhǔn)備氣相沉積爐的安裝環(huán)境需符合真空衛(wèi)生要求,周圍空氣應(yīng)清潔干燥,通風(fēng)條件良好。在安裝過程中,要確保設(shè)備穩(wěn)固,傳感器、配管、電纜等連接部件完好無損。此外,設(shè)備的廢氣排放系統(tǒng)也需連接良好,排污管道暢通。2. 嚴(yán)謹(jǐn)?shù)娜粘z查與維護(hù)操作人員在使用氣相沉積爐前,應(yīng)對控制柜內(nèi)所有零部件進(jìn)行檢查,確保其完好無損。同時,要檢查電器活動部位是否靈活,絕緣電阻是否達(dá)標(biāo)。定期更換爐子內(nèi)的加熱器和其它配件,保持設(shè)備的良好狀態(tài)。3. 精確的溫度與時間控制反應(yīng)溫度和反應(yīng)時間是影響氣相沉積效果的關(guān)鍵因素。操作人員需根據(jù)具體材料和工藝要求,精確控制反應(yīng)溫度和時間,以獲得高質(zhì)量的薄膜。4. 合理的氣氛控制不同材料的氣相沉積需要不同的氣氛環(huán)境。操作人員需根據(jù)實際情況調(diào)整反應(yīng)氣氛,確保材料的正常生長。 二、氣相沉積爐的安全生產(chǎn)規(guī)范1. 嚴(yán)格的操作人員培訓(xùn)操作人員在使用氣相沉積爐前,必須接受必要的設(shè)備、操作培訓(xùn),并獲得操作許可證和化學(xué)品使用許可證。未經(jīng)培訓(xùn)的人員嚴(yán)禁擅自操作設(shè)備。2. 全方面的安全防護(hù)措施操作人員在使用氣相沉積爐時,應(yīng)穿戴好防護(hù)服、手套、護(hù)目鏡和防毒面具等個人防護(hù)裝備。同時,要特別注意對開放的火源保持警惕,了解并熟悉應(yīng)對各種突發(fā)情況的措施。3. 嚴(yán)謹(jǐn)?shù)膹U棄物處理使用氣相沉積爐產(chǎn)生的廢棄物必須按照相關(guān)規(guī)定進(jìn)行處理,嚴(yán)禁隨意傾倒。廢棄物應(yīng)置于指定的存放容器中,并定期送交專門處理單位。4. 完善的應(yīng)急處理機制發(fā)生化學(xué)氣相沉積爐系統(tǒng)泄漏、損壞或其他突發(fā)情況時,操作人員應(yīng)立即采取行動進(jìn)行應(yīng)急處理。同時,要熟悉應(yīng)急電話號碼,如有需要及時聯(lián)系事故應(yīng)急救援部門。5. 定期的設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)為了確保氣相沉積爐的正常運行和延長使用壽命,操作人員應(yīng)定期對設(shè)備進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)。這包括檢查設(shè)備的傳感器、配管、電纜等連接部件是否完好,清潔爐內(nèi)外部分,以及檢查廢氣排放系統(tǒng)是否暢通等。 三、總結(jié)氣相沉積爐作為一種先進(jìn)的材料制備設(shè)備,其操作技巧與安全生產(chǎn)規(guī)范相輔相成。只有熟練掌握操作技巧并嚴(yán)格遵守安全生產(chǎn)規(guī)范,才能確保氣相沉積爐的效率高運行和操作人員的安全。因此,操作人員在使用氣相沉積爐前,務(wù)必接受專 業(yè)培訓(xùn),熟悉設(shè)備操作流程和安全規(guī)范,為科研和生產(chǎn)工作的順利進(jìn)行提供有力保障。

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