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    氣相沉積爐設備組成
    發(fā)布時(shí)間:2017-11-23   瀏覽:2944次

      氣相沉積爐整體結構采用井式碳化爐結構。主要由爐體系統、控制系統、真空系統、冷卻系統、進(jìn)氣系統、過(guò)濾系統、操作平臺等部分組成組成。

      氣相沉積爐系統主要由爐蓋、爐體、爐底、保溫層、發(fā)熱體、引電體組成,爐殼為圓柱形結構,分爐體和爐頂蓋、爐底三部分,主要使用Q235鋼材,爐體、爐蓋、爐底均為夾層水冷結構,夾層內設置蛇形導流板,既可以引導水流流向又可以加強爐體壁抗壓能力,爐體上設置電極座、測溫座。抽氣口位于爐頂蓋或爐體側壁上。

      加熱及保溫層,發(fā)熱體采用帶式合金發(fā)熱體,分三個(gè)加熱區,三角形加熱,分布在爐腔四周;保溫層:采用全纖維爐襯復合保溫結構,既可以讓爐膛整潔成型又可以保持良好的保溫性能,成型后的保溫層分別固定在爐壁、爐蓋上,操作與維護非常方便。

      氣相沉積爐的爐膽采用高溫耐熱鋼,為保證高溫真空下的工作強度,采用雙真空結構。爐膽內外同時(shí)抽真空,并設置手動(dòng)及自動(dòng)壓差閥??紤]真空放電現象,采用低電壓大電流的供電方式。


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    23 October 2017
    真空燒結爐日常應急策略

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      真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝,可進(jìn)行真空燒結,氣體保護燒結及常規燒結,是半導體專(zhuān)用設備系列中一種新穎的工藝裝備,它設計構思新穎,操作方便,結構緊湊,在一臺設備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內的真空熱處理,真空釬焊等工藝。下面,洛陽(yáng)八佳科技小編就為您介紹真空燒結爐的應急措施.   一. 冷卻水異常   1、確認加熱電源已停止。   2、爐外發(fā)生漏水,冷卻水量異常時(shí),應盡快采取應急措施,如能保證水量,請繼續保持真空,如不能采取應急措施,保持原狀,確認設備冷卻下來(lái)。   3、冷卻水發(fā)生異常時(shí),設備處于停止狀態(tài),馬上接通緊急用冷卻水。   4、在高溫(超過(guò)200℃即視為高溫)時(shí),如果冷卻水停止了,如果不能緊急送水,水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。   二 壓縮空氣的停止   1、壓縮空氣異常報警時(shí),設備處于停止狀態(tài),應盡快到備用的壓縮機房,讓其恢復工作。   2、真空中如壓縮空氣異常報警,且恢復需要較長(cháng)時(shí)間時(shí),則終止真空,讓設備停下來(lái)。   三 停電   1、停電時(shí),如果斷水,應立即接通備用的冷卻水,接通水源。   2、如果在非升溫、加熱和冷卻時(shí),能夠盡快恢復時(shí),重新啟動(dòng)設備,繼續運轉如需要較長(cháng)時(shí)間,則將設備保持原狀。   3、如果正在加熱和冷卻時(shí),能夠盡快恢復時(shí),重新啟動(dòng)設備,如果需要較長(cháng)時(shí)間時(shí),則保持原狀,讓設備自然冷卻下來(lái)。   四 加熱電源掉電   1、水壓低,當水壓低于0.15MPa,壓力表報警。   2、接地故障。   3、真空放電,水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固,與反射屏絕緣要好。   4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時(shí)(此真空度容易發(fā)生放電)。電源出現故障,掉電的原因可以認為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。   五 充氣氣體(氬氣或氮氣)停止   1、抽真空開(kāi)始前,氣體充入時(shí)間長(cháng)或者無(wú)法充入時(shí),請確認氣體管路是否被堵塞。   2、如氣體管路沒(méi)問(wèn)題,檢查電磁閥及氣體充氣閥的動(dòng)作,為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設備要全部停止后再進(jìn)行檢查。   3、向真空室內充氣不能停止的情況下,泄壓閥動(dòng)作如泄壓閥動(dòng)作時(shí),要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內的所有氣體系統。   4、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方,如有會(huì )影響制品質(zhì)量。   六 真空室壓力惡化   1、真空排氣時(shí)間比通常長(cháng)時(shí),應把設備停下來(lái)進(jìn)行檢查,根據真空室內構造物不同狀態(tài)下放氣的影響,也有導致壓力升高的情況。   2、通過(guò)壓力上升測試或者用氦氣檢漏來(lái)確認是漏氣還有放氣的影響。   在真空和保護性氣氛中,對金屬、陶瓷及一些難熔金屬中間化合物粉末加熱燒結,要獲得一定密度和具有一定機械性能的材料時(shí),一般采用兩種工藝;即有壓燒結和無(wú)壓燒結。有壓燒結工藝是將粉狀材料置于真空和保護性氣氛中的高碳模具中,高溫加熱到軟化狀態(tài)時(shí),加壓成型。這種工藝需要一種真空熱壓燒結才能實(shí)現。該燒結爐具有溫度高、真空度高、熱壓力高的特點(diǎn)。目前這種爐型在我國還未見(jiàn)定型產(chǎn)品。

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