真空燒結(jié)爐主要用于活性金屬和難溶金屬以及硬質(zhì)合金，磁性材料和不銹鋼等的燒結(jié)。它實(shí)際上是低壓(減壓)燒結(jié)。真空度愈高，愈接近中性氣氛，愈與材料不發(fā)生任何化學(xué)反應(yīng)。 　　真空燒結(jié)爐的主要優(yōu)點(diǎn)是： 　　(1)真空有利于排除吸附氣體，對(duì)促進(jìn)燒結(jié)后期的收縮作用明顯。 　　(2)真空有利于硅，鋁，鎂，鈣等雜質(zhì)或其氧化物的排除，起到提純材料的作用。 　　(3)真空可改善液相燒結(jié)的潤(rùn)濕性，有利于燒結(jié)過程中的收縮和改善合金的組織結(jié)構(gòu)。 　　(4)真空是理想的惰性氣氛，當(dāng)不宜用其他還原性或惰性氣體時(shí)，或者對(duì)容易出現(xiàn)脫碳，滲碳的材料，均可采用真空燒結(jié)爐。 　　(5)減少氣氛中的有害成分(水，氧，氮等)對(duì)產(chǎn)品的玷污。例如，電解氫中的含水量要求降至***-40℃較為困難;而真空燒結(jié)時(shí)，真空度只要在數(shù)百Pa就相當(dāng)于含水量為***-40℃。 　　真空下的液相燒結(jié)，發(fā)生粘結(jié)金屬的揮發(fā)損失是個(gè)重要問題。這不僅改變和影響合金的***終成分和組織結(jié)構(gòu)，而且對(duì)燒結(jié)過程本身也起阻礙作用。粘結(jié)金屬的揮發(fā)損失，主要是在燒結(jié)后期(即保溫階段)發(fā)生。真空燒結(jié)爐的保溫時(shí)間越長(zhǎng)，粘結(jié)金屬的揮發(fā)損失越多。為此，化物雜質(zhì)，水分等與材料中的碳發(fā)生反應(yīng)，生成CO隨爐排出。此時(shí)爐壓明顯提高，合金中的總碳量降低。顯然，碳含量的變化取決于原材料粉末中的氧含量以及燒結(jié)時(shí)的真空度。兩者越高時(shí)，生成一氧化碳的反映越容易進(jìn)行，脫碳也越嚴(yán)重。 　　真空燒結(jié)爐的真空燒結(jié)與氣體保護(hù)燒結(jié)的工藝沒有根本區(qū)別，只是燒結(jié)溫度低一些，一般可降低100~150℃。這有利于延長(zhǎng)燒結(jié)爐的壽命和降低電能的消耗。

　　真空燒結(jié)爐遇故障的緊急措施 　　在真空燒結(jié)爐中，利用中頻感應(yīng)加熱的原理，在燒結(jié)爐中排空后，利用中頻感應(yīng)加熱的原理，在燒結(jié)爐中產(chǎn)生鎢坩堝，使線圈中的鎢坩堝通過熱輻射進(jìn)行工作，并對(duì)鐵及其合金進(jìn)行粉末形成和燒結(jié)。安裝電爐的地方必須符合真空衛(wèi)生的要求。周圍空氣應(yīng)干凈干燥，通風(fēng)狀況良好，工地不易揚(yáng)塵等。在使用中，必須了解以下問題。 　　真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元件和功率整流裝置的燒結(jié)過程，可進(jìn)行真空燒結(jié)、氣體保護(hù)燒結(jié)和常規(guī)燒結(jié)，是一系列半導(dǎo)體特種設(shè)備中的一種新型工藝設(shè)備，可在一個(gè)裝置上完成多個(gè)工藝流程。還可用于其它領(lǐng)域，如真空熱處理、真空真空焊接等。下面，系統(tǒng)介紹了燒結(jié)爐的應(yīng)急措施。 　　***，異常冷卻水 　　1.核實(shí)加熱電源是否停止。 　　2.當(dāng)爐外發(fā)生泄漏，冷卻水量異常時(shí)，應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施。如果能保證水量，請(qǐng)繼續(xù)保持真空，如果不能采取緊急措施，保持原狀，并確認(rèn)設(shè)備已冷卻。 　　3.冷卻水不正常時(shí)，設(shè)備處于停機(jī)狀態(tài)，應(yīng)急冷卻水立即接通。 　　4.在高溫下，如果冷卻水停止，如果不能緊急供水，則水冷電極、熱交換器、真空燒結(jié)爐的真空室殼體和泵可能損壞。 　　第二，壓縮空氣的停止。 　　1.壓縮空氣異常時(shí)，設(shè)備處于停機(jī)狀態(tài)，備用壓縮機(jī)房盡快恢復(fù)，恢復(fù)工作。 　　2.如果壓縮空氣在真空燒結(jié)爐真空中出現(xiàn)異常報(bào)警，且恢復(fù)時(shí)間長(zhǎng)，則真空終止，設(shè)備停止。