氣相沉積爐計算機控制系統使用說(shuō)明
氣相沉積爐計算機控制系統要如何使用呢?今天,洛陽(yáng)八佳電氣科技股份有限公司就來(lái)跟大家簡(jiǎn)單的說(shuō)一說(shuō)使用方法及注意事項。
首先,氣相沉積爐主體內有加熱室,水冷電極,測溫熱電偶,這些都是處理工件的核心的部分。而為混氣罐,由1只電動(dòng)蝶閥、2只浮子流量計和4只不銹鋼手動(dòng)截止閥這三部分七小塊組成,負責氬氣和丙烷的混氣配比,以及向沉積爐內定量輸送工作氣體。
其次,沉積爐還具有2臺滑閥泵,注意是負責氣相沉積爐內的空氣及工作廢氣的排除等,這使得爐子可以工作在恒定的壓力范圍之內。2臺過(guò)濾罐,主要是負責滑閥泵前級的粉塵排除。
另外,氣相沉積爐計算機控制系統還有3臺加熱磁性調壓器,他們獨立工作,完成爐溫的控制。
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