真空速凝爐的應(yīng)急措施 　　真空速凝爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺(tái)設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。下面，小編就為您介紹壓縮空氣的停止、停電、加熱電源掉電的應(yīng)急措施。 　　一、壓縮空氣的停止 　　1、壓縮空氣異常報(bào)警時(shí)，真空速凝爐處于停止?fàn)顟B(tài)，應(yīng)盡快到備用的壓縮機(jī)房，讓其恢復(fù)工作。 　　2、真空中如壓縮空氣異常報(bào)警，且恢復(fù)需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí)，則終止真空，讓設(shè)備停下來(lái)。 　　二、停電 　　1、停電時(shí)，如果斷水，應(yīng)立即接通備用的冷卻水，接通水源。 　　2、如果在非升溫、加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)真空速凝爐，繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需要較長(zhǎng)時(shí)間，則將設(shè)備保持原狀。 　　3、如果正在加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備，如果需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí)，則保持原狀，讓設(shè)備自然冷卻下來(lái)。 　　三、加熱電源掉電 　　1、水壓低，當(dāng)水壓低于0.15MPa，真空速凝爐的壓力表會(huì)報(bào)警。 　　2、接地故障。 　　3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。 　　4、若真空速凝爐爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(shí)(此真空度容易發(fā)生放電)。電源出現(xiàn)故障，掉電的原因可以認(rèn)為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。

　　操作真空爐的師傅們都知道起動(dòng)真空爐電源，將控制柜開(kāi)關(guān)設(shè)置在自動(dòng)控制位置處。將真空燒結(jié)爐工藝規(guī)程的各參數(shù)輸入計(jì)算機(jī)。按工藝要求選擇好真空爐的冷卻介質(zhì)和冷卻方式及壓力。按下循環(huán)起動(dòng)鈕，設(shè)備執(zhí)行程序：抽真空_加熱_冷卻自動(dòng)完成。 　　真空燒結(jié)爐整個(gè)自動(dòng)控制系統(tǒng)中，起到核心處理作用的是與觸摸屏的通信程序、邏輯處理程序和故障報(bào)警功能。具體的內(nèi)容如下三點(diǎn)： 　　(1)與觸摸屏的通信程序。通過(guò)從觸摸屏讀取操作命令和參數(shù)的設(shè)定值，并轉(zhuǎn)化成真空燒結(jié)爐運(yùn)算所使用的數(shù)據(jù)類(lèi)型;把工藝參數(shù)和各工位的運(yùn)行狀態(tài)返回觸摸屏。 　　(2)邏輯處理程序。真空燒結(jié)爐根據(jù)采集到的信號(hào)進(jìn)行邏輯判斷，發(fā)出對(duì)系統(tǒng)和各工位運(yùn)行狀態(tài)的控制信號(hào)。完成料車(chē)的運(yùn)輸，真空泵抽真空，各個(gè)閥的開(kāi)關(guān)，加熱給定，風(fēng)機(jī)冷卻，爐體的充氣等工作。 　　(3)故障報(bào)警功能。針對(duì)工藝要求，真空燒結(jié)爐進(jìn)行釬焊爐溫度顯示異常(過(guò)低或超溫)、熱電偶損壞或斷路等故障報(bào)警功能，當(dāng)有異常或故障出現(xiàn)時(shí)，現(xiàn)場(chǎng)故障報(bào)警信號(hào)燈和觸摸屏對(duì)應(yīng)于故障點(diǎn)的溫度顯示信號(hào)將會(huì)同時(shí)出現(xiàn)閃動(dòng)，以提醒操作人員及時(shí)對(duì)釬焊爐溫度進(jìn)行調(diào)整或?qū)收线M(jìn)行處理。 　　記得要隨時(shí)檢查真空燒結(jié)爐設(shè)備各系統(tǒng)運(yùn)行是否正常，如有異常及時(shí)報(bào)告領(lǐng)班處理。在出爐前，應(yīng)恢復(fù)爐內(nèi)正常壓力，指示燈正常后打開(kāi)爐門(mén)(蓋)。卸料時(shí)，應(yīng)仔細(xì)操作，工件和工裝等均不得碰撞爐口。