氣相沉積爐日常使用方法有哪些呢　　氣相沉積爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流裝置的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)、氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中新穎的技術(shù)裝備，設(shè)計(jì)思路新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，一臺(tái)設(shè)備即可完成多個(gè)工藝流程。也可用于其他領(lǐng)域的真空熱處理、真空釬焊等工藝，那么下面一起了解下爐子的使用必備技巧吧!　　氣相沉積爐在抽真空后氫氣保護(hù)的情況下，利用中頻感應(yīng)加熱原理，使位于盤管內(nèi)的鎢坩堝達(dá)到高溫，通過熱輻射傳導(dǎo)到工作中，適用于科研、軍工部門對(duì)鎢、鉬及其合金粉末進(jìn)行成型燒結(jié)。安裝爐子的場(chǎng)地應(yīng)符合真空衛(wèi)生要求，周圍空氣清潔干燥，通風(fēng)條件好，工作場(chǎng)所不易揚(yáng)起灰塵等。它的日常使用方法：　　1、檢查控制柜內(nèi)所有零部件及部件是否完好、完好?！　?、控制柜安裝固定在相應(yīng)的基礎(chǔ)上?！　?、查看接線圖，參考電路圖，連接外接主回路和控制回路，可靠接地，保證接線無(wú)誤?！　?、檢查電器活動(dòng)部位活動(dòng)自如，無(wú)卡死現(xiàn)象。　　5、絕緣電阻不應(yīng)小于2萬(wàn)億歐姆?！　?、氣相沉積爐各閥門必須在關(guān)閉位置?！　?、控制電源開關(guān)置于斷開位置?！　?、手動(dòng)調(diào)壓旋鈕逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)頭。　　9、將報(bào)警按鈕置于打開位置?！　?0、平面圖完成設(shè)備循環(huán)冷卻水連接時(shí)，建議用戶在氣相沉積爐總進(jìn)出水管處再加一層備用水(可用自來(lái)水)，防止循環(huán)水故障或斷電引起密封圈燃燒。

　　真空甩帶爐的特點(diǎn)有哪些呢 　　真空甩帶爐的特點(diǎn)有哪些呢？八佳小編今天為大家總結(jié)出了一些，希望能幫助到大家。 　　(1)嚴(yán)格的真空密封：眾歷周知，金屬零件進(jìn)行真空熱處理均在密閉的真空爐內(nèi)進(jìn)行，因此，獲得和維持爐子原定的漏氣率，保證真空爐的工作真空度，對(duì)確保零件真空熱處理的質(zhì)量有著非常重要的意義。所以真空甩帶爐的一個(gè)關(guān)鍵問題，就是要有可靠的真空密封結(jié)構(gòu)。為了保證真空爐的真空性能，在爐子結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中必須道循一個(gè)基本原則，就是爐體要采用氣密焊接，同時(shí)在爐體上盡量少開或者不開孔，少采用或者避免采用動(dòng)密封結(jié)構(gòu)，以盡量減少真空泄漏的機(jī)會(huì)。安裝在真空爐體上的部件、附件等如水冷電極、熱電偶導(dǎo)出裝置也都必須設(shè)計(jì)密封結(jié)構(gòu)。 　　(2)大部分加熱與隔熱材料只能在真空狀態(tài)下使用：真空甩帶爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下工作的，因而對(duì)這些材料提出了耐高溫，蒸汽壓低，輻射效果好，導(dǎo)熱系數(shù)小等要求。對(duì)抗氧化性能要求不高。所以，爐子廣泛采用了鉭、鎢、鉬和石墨等作加熱與隔熱構(gòu)料。這些材料在大氣狀態(tài)下極易氧化，因此，常規(guī)熱處理爐不能采用這些加熱與隔熱材料。 　　(3)水冷裝置，真空甩帶爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導(dǎo)別處置(水冷電極)、中間真空隔熱門等部件，均在真空、受熱狀態(tài)下工作。在這種極為不利的條件下工作，必須保證各部件的結(jié)構(gòu)不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不燒毀。因此，各部件應(yīng)該根據(jù)不同的情況設(shè)置水冷裝置，以保證爐子能夠正常運(yùn)行并有足夠的使用壽命。 　　(4)采用低電壓大電流：在真空容器內(nèi)，當(dāng)真空空度為幾托一lxlo-1托的范圍內(nèi)時(shí)，真空容器內(nèi)的通電導(dǎo)體在較高的電壓下，會(huì)產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象。在真空甩帶爐內(nèi)，嚴(yán)重的會(huì)產(chǎn)生弧光放電，燒毀電熱元件、隔熱層等，造成重大事故和損失。因此，爐子的電熱元件的工作電壓，一般都不超過80一100伏。同時(shí)在電熱元件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)時(shí)要采取有效措施，如盡量避免有***的部件，電極間的間距不能太小窄，以防止輝光放電或者弧光放電的發(fā)生。 　　(5)自動(dòng)化程度高：真空熔煉爐的自動(dòng)化程度之所以較高，是因?yàn)榻饘俟ぜ募訜?、冷卻等操作，需要十幾個(gè)甚至幾十個(gè)動(dòng)作來(lái)完成。這些動(dòng)作內(nèi)在真空甩帶爐內(nèi)進(jìn)行，操作人員無(wú)法接近。同時(shí)，有些動(dòng)作如加熱保溫結(jié)束后，金屬工件進(jìn)行淬火工序須六、六個(gè)動(dòng)作并且要在15秒鐘以內(nèi)完成。在這樣迅速的條件來(lái)完成許多動(dòng)作，是很容易造成操作人員的緊張而構(gòu)成誤操作。因此，只有較高的目動(dòng)化才能準(zhǔn)確、及時(shí)按程序協(xié)調(diào)動(dòng)。