真空燒結(jié)爐是可進(jìn)行真空燒結(jié)的的工藝，是半導(dǎo)體專用設(shè)備中一種新穎的工藝裝備，可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理工藝。當(dāng)燒結(jié)爐出現(xiàn)冷卻水異常怎么辦? 　　發(fā)現(xiàn)工業(yè)爐出現(xiàn)異常時(shí)，要先確認(rèn)加熱電源是否已經(jīng)停止。如果真空燒結(jié)爐爐外發(fā)生漏水，冷卻水量異常時(shí)，應(yīng)立即采取一些應(yīng)急措施。如能保證水量，繼續(xù)保持真空;如不能則保持原狀，確認(rèn)設(shè)備冷卻下來。 　　如果冷卻水出現(xiàn)異常時(shí)，真空燒結(jié)爐處于停止?fàn)顟B(tài)，則立刻接通緊急用冷卻水。在保持高溫時(shí)，冷卻水就會(huì)停止，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵極有可能會(huì)被損壞。 　　因此，在使用高溫?zé)崽幚頎t、真空速凝爐等此類工業(yè)爐時(shí)，一定要注意冷卻水是否異常，要時(shí)常檢查設(shè)備，做好平日的維護(hù)，才能延長(zhǎng)設(shè)備使用年限。

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