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    使用氣相沉積爐時(shí)需要特別注意哪些事項
    發(fā)布時(shí)間:2023-02-09   瀏覽:3168次

      使用氣相沉積爐時(shí)需要特別注意哪些事項

      使用氣相沉積爐時(shí)需要特別注意以下幾點(diǎn)。大家一起看看吧。

      1、模具一般由用戶(hù)自備,模具材料基本采用高純石墨,其耐壓極限為40MPa。建議用戶(hù)在30MPa以下使用,加壓前計算模具上、下沖頭面積,換算成壓力。具體公式如下:系統允許加壓(噸)=上或下沖頭面積30MPa

      2、熱電偶為鎢錸型,使用后變脆,不能接觸。破損時(shí)請立即更換。其型號為W2型。

    氣相沉積爐

      3、冬季要注意氣相沉積爐循環(huán)水的保溫問(wèn)題。否則容易發(fā)生自來(lái)水管破裂。

      4、使用后爐體應保持真空,爐內保溫層容易受潮,保持真空下次抽真空會(huì )更快。

      5、設備復雜,建議專(zhuān)人使用,專(zhuān)人負責,嚴格對初學(xué)者進(jìn)行使用前培訓,有使用后檢查、操作使用記錄等設備使用規定。

      6、氣相沉積爐也可作為真空燒結爐使用。用于真空燒結爐時(shí),請注意在爐內放置坩堝后,合上保溫板蓋后,不要忘記合上其中的小蓋。容易燒毀電爐。

      7、操作前觀(guān)察窗玻璃清潔,清掃爐內壁,觀(guān)察水壓情況,觀(guān)察爐內石墨有無(wú)損傷,開(kāi)機后觀(guān)察儀表顯示是否正常,測試液壓系統是否正常工作。

      8、氣相沉積爐使用一年后,應將儀器送計量部門(mén)校準。

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