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      • 行業(yè)動(dòng)態(tài)

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        氣相沉積爐的特點(diǎn)是什么
        發(fā)布時(shí)間:2021-04-12   瀏覽:5707次

          氣相沉積爐的特點(diǎn)是什么

          氣相沉積爐可用于以碳?xì)錃怏w為碳源的復(fù)合材料的化學(xué)氣相沉積。其中CVD沉積爐是指高溫下的氣相反應(yīng),例如,金屬鹵化物、有機(jī)金屬、碳?xì)浠衔锏鹊臒岱纸?,氫還原或使它的混合氣體在高溫下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)以析出金屬、氧化物、碳化物等無(wú)機(jī)材料的方法。這種技術(shù)開(kāi)始是作為涂層的手段而開(kāi)發(fā)的,但目前,不只應(yīng)用于耐熱物質(zhì)的涂層,而且應(yīng)用于高純度金屬的精制、粉末合成、半導(dǎo)體薄膜等,是一個(gè)頗具特征的技術(shù)領(lǐng)域。

        氣相沉積爐的特點(diǎn)是什么

          設(shè)備特點(diǎn)在于:(1)在低溫下合成高熔點(diǎn)物質(zhì);(2)析出物質(zhì)的形態(tài)在單晶、多晶、晶須、粉末、薄膜等多種;(3)不僅可以在基片上進(jìn)行涂層,而且可以在粉體表面涂層,特別是在低溫下可以合成高熔點(diǎn)物質(zhì),在節(jié)能方面做出了貢獻(xiàn),作為一種新技術(shù)是大有前途的。

          下面小編詳細(xì)列舉幾條爐子的特點(diǎn),以便大家能更好的了解爐子的性能。

          氣相沉積爐工作區(qū)尺寸可達(dá)2.5m×2m×4.5m,能滿足超大型工件化學(xué)氣相沉積處理需求;并且,采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫,溫度均勻性好;

          與此同時(shí)采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);

          氣相沉積爐采用多通道沉積氣路,流場(chǎng)均勻,無(wú)沉積死角,沉積效果好;

          氣相沉積爐對(duì)炭沉積過(guò)程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機(jī)氣體等能進(jìn)行有效處理。

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          真空熔煉爐的熔煉特點(diǎn)是什么   1、真空熔煉爐在進(jìn)行熔煉時(shí),使在常壓下進(jìn)行的物理化學(xué)反應(yīng)條件有了改變,這主要體現(xiàn)在氣相壓力的降低上。只要冶金反應(yīng)中有氣相參加,而且反應(yīng)生成物中的氣體摩爾數(shù)大于反應(yīng)物中的氣體摩爾數(shù)的數(shù)值時(shí),若減小系統(tǒng)的壓力,則可以使平衡反應(yīng)向著增加氣態(tài)物質(zhì)的方向移動(dòng),這就是真空熔煉中物理化學(xué)反應(yīng)的根本的特點(diǎn)。   2、大氣熔煉(真空熔煉爐)和澆注的主要缺點(diǎn)之一是合金成分(主要是一些比較活潑的元素)由于燒損不易準(zhǔn)確控制,而真空熔煉不受周?chē)鷼夥瘴廴?,金屬液與大氣中的氧和氮脫離接觸,所以真空熔煉能?chē)?yán)格控制合金中活潑元素,如鋁、鈦等的含量,將合金成分控制在很窄的范圍內(nèi),因而能保證合金的性能、質(zhì)量及其穩(wěn)定性。   3、碳脫氧反應(yīng),大氣熔煉碳氧反應(yīng)對(duì)金屬液起著除氣作用和機(jī)械攪拌作用,但由于碳的脫氧能力不強(qiáng),不能單獨(dú)用作脫氧劑,往往要用硅、鋁等金屬脫氧劑進(jìn)行沉淀脫氧。在真空熔煉中,由于氣相壓力低,且碳氧反應(yīng)生成的CO氣泡能夠不斷的被抽走,而使平衡向生成CO的方向移動(dòng),即[C]+[O]={CO}反應(yīng)不斷向右方進(jìn)行,從而提高了碳的脫氧能力。大量實(shí)踐數(shù)據(jù)表明:真空熔煉與大氣熔煉相比較,碳的脫氧能力約提高100倍。   真空熔煉鎳基合金時(shí),將合金的氧含量降低到20×10以下是不難做到的。真空下用碳脫氧,不僅具有高的脫氧能力,而且其脫氧產(chǎn)物是氣體,易于排除,而不沾污金屬熔池,這比用硅、鋁等生成固態(tài)脫氧產(chǎn)物的脫氧劑要優(yōu)越得多,因此在真空熔煉中,碳是理想的脫氧劑。

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