真空速凝爐的應(yīng)急措施 　　真空速凝爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺(tái)設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。下面，小編就為您介紹壓縮空氣的停止、停電、加熱電源掉電的應(yīng)急措施。 　　一、壓縮空氣的停止 　　1、壓縮空氣異常報(bào)警時(shí)，真空速凝爐處于停止?fàn)顟B(tài)，應(yīng)盡快到備用的壓縮機(jī)房，讓其恢復(fù)工作。 　　2、真空中如壓縮空氣異常報(bào)警，且恢復(fù)需要較長時(shí)間時(shí)，則終止真空，讓設(shè)備停下來。 　　二、停電 　　1、停電時(shí)，如果斷水，應(yīng)立即接通備用的冷卻水，接通水源。 　　2、如果在非升溫、加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)真空速凝爐，繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需要較長時(shí)間，則將設(shè)備保持原狀。 　　3、如果正在加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備，如果需要較長時(shí)間時(shí)，則保持原狀，讓設(shè)備自然冷卻下來。 　　三、加熱電源掉電 　　1、水壓低，當(dāng)水壓低于0.15MPa，真空速凝爐的壓力表會(huì)報(bào)警。 　　2、接地故障。 　　3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。 　　4、若真空速凝爐爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(shí)(此真空度容易發(fā)生放電)。電源出現(xiàn)故障，掉電的原因可以認(rèn)為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。

　　真空燒結(jié)爐加熱工件無氧化、無脫碳、無合金元素貧化，脫脂脫氣，真空提純，避免氫脆，能實(shí)現(xiàn)分級(jí)等溫淬火，能控制加熱與冷卻，為自動(dòng)化、柔性化生產(chǎn)奠定基礎(chǔ)。但在使用加熱的時(shí)候需要注意下面四點(diǎn)： 　　1、測(cè)試真空燒結(jié)爐爐溫均勻性時(shí)，應(yīng)注意測(cè)溫觸點(diǎn)的定位***方式，以及離加熱元件的遠(yuǎn)近。箱式電阻爐爐內(nèi)經(jīng)常(至少每月)用毛刷、掃帚或壓縮空氣、吸塵器等清潔爐膛和擱磚，要防止?fàn)t內(nèi)氧化皮等雜質(zhì)掉在電熱元件上，發(fā)生短路，甚至燒壞擱磚。底板、坩堝、爐罐等耐熱鋼構(gòu)件每使用一段時(shí)間吊起敲擊，清除其氧化皮。氧化鐵皮等雜質(zhì)如不及時(shí)清除，就會(huì)熔融與耐火磚發(fā)生反應(yīng)，使?fàn)t絲熔化。 　　2、要避免熱處理產(chǎn)品，尤其足銅、鋁、鋅、錫、鉛等與電加熱元件接觸，無論是細(xì)粉、熔液或蒸汽等，防止在電加熱體表面侵蝕形成“麻坑”，截面變小再后過熱而燒斷。 　　3、真空燒結(jié)爐升溫后，不能長時(shí)間開啟爐門。當(dāng)溫度高于400℃時(shí)，不得急劇冷卻。對(duì)于電熱元件在溫度高、冷熱變化大情況下容易引起氧化掉皮。對(duì)于鉬加熱爐，EI常使用維護(hù)中注意應(yīng)冷卻至200℃以下方可停送保護(hù)氣。 　　4、引出棒與線夾子應(yīng)接觸良好，引出棒與夾子接觸而應(yīng)光滑。引出棒不能有發(fā)紅現(xiàn)象，供電時(shí)線夾子的升溫***高不超過60℃。注意由于升溫停止真空燒結(jié)爐爐時(shí)的熱脹冷縮以及蠕變伸長等，引出棒接線夾子的螺栓容易發(fā)生氧化松動(dòng)形成虛接短路，要定期檢查擰緊。