氣相沉積爐的優(yōu)勢有哪些
氣相沉積爐的優(yōu)勢有哪些
氣相沉積爐為沉積爐主體內有加熱室,水冷電極,測溫熱電偶,是處理工件的核心部分。下面是關(guān)于爐子優(yōu)勢介紹。
電阻爐可采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;
氣相沉積爐采用智能壓力調控,壓力波動(dòng)??;
全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
多通道工藝氣路,流程均勻,無(wú)沉積死角,沉積效果好;
多級尾氣處理系統,環(huán)境友好,能很快收集焦油及副產(chǎn)物,易清理;
氣相沉積爐可選配外循環(huán)快冷系統,降溫時(shí)間短,生產(chǎn)效率高。
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