氣相沉積爐日常使用方法有哪些呢
氣相沉積爐日常使用方法有哪些呢
氣相沉積爐主要用于半導體元器件及電力整流裝置的燒結工藝,可進(jìn)行真空燒結、氣體保護燒結及常規燒結,是半導體專(zhuān)用設備系列中新穎的技術(shù)裝備,設計思路新穎,操作方便,結構緊湊,一臺設備即可完成多個(gè)工藝流程。也可用于其他領(lǐng)域的真空熱處理、真空釬焊等工藝,那么下面一起了解下?tīng)t子的使用必備技巧吧!
氣相沉積爐在抽真空后氫氣保護的情況下,利用中頻感應加熱原理,使位于盤(pán)管內的鎢坩堝達到高溫,通過(guò)熱輻射傳導到工作中,適用于科研、軍工部門(mén)對鎢、鉬及其合金粉末進(jìn)行成型燒結。安裝爐子的場(chǎng)地應符合真空衛生要求,周?chē)諝馇鍧嵏稍?,通風(fēng)條件好,工作場(chǎng)所不易揚起灰塵等。它的日常使用方法:
1、檢查控制柜內所有零部件及部件是否完好、完好。
2、控制柜安裝固定在相應的基礎上。
3、查看接線(xiàn)圖,參考電路圖,連接外接主回路和控制回路,可靠接地,保證接線(xiàn)無(wú)誤。
4、檢查電器活動(dòng)部位活動(dòng)自如,無(wú)卡死現象。
5、絕緣電阻不應小于2萬(wàn)億歐姆。
6、氣相沉積爐各閥門(mén)必須在關(guān)閉位置。
7、控制電源開(kāi)關(guān)置于斷開(kāi)位置。
8、手動(dòng)調壓旋鈕逆時(shí)針轉動(dòng)頭。
9、將報警按鈕置于打開(kāi)位置。
10、平面圖完成設備循環(huán)冷卻水連接時(shí),建議用戶(hù)在氣相沉積爐總進(jìn)出水管處再加一層備用水(可用自來(lái)水),防止循環(huán)水故障或斷電引起密封圈燃燒。
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