真空速凝爐真空系統(tǒng)的選用與組成 　　根據(jù)真空速凝爐的使用技術(shù)條件和所要求的真空度，選擇適合的真空泵。再根據(jù)真空泵的類型、規(guī)格選配相應(yīng)的真空閥門、真空管道等，從而組成高溫真空釬焊爐所需要的真空系統(tǒng)。一般被抽容積與真空泵的抽氣速率有一定的關(guān)系。當(dāng)確定速凝爐的容積后，便可查出相應(yīng)的抽氣速率，再由此選用真空泵。 　　真空系統(tǒng)的組成： 　　真空速凝爐的真空系統(tǒng)，一般由真空泵、真空閥門、真空測量儀表、冷阱、管道等部分組成，下面介紹幾種常用的真空系統(tǒng)。 　　由于，高真空系統(tǒng)及帶有增壓泵的高真空系統(tǒng)，適用于真空度在L 3X10-2?6.6 X。如預(yù)抽井式真空爐多釆用適用于真空度在2?1333Pa范圍的這個(gè)系統(tǒng)。另外，真空速凝爐具有機(jī)械增壓泵的真空系統(tǒng)，適用于真空度在1.33?3X107Pa范圍的。所以，這種爐子廣泛采用此系統(tǒng)。

　　氣相沉積爐日常使用方法有哪些呢　　氣相沉積爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流裝置的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)、氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中新穎的技術(shù)裝備，設(shè)計(jì)思路新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，一臺設(shè)備即可完成多個(gè)工藝流程。也可用于其他領(lǐng)域的真空熱處理、真空釬焊等工藝，那么下面一起了解下爐子的使用必備技巧吧!　　氣相沉積爐在抽真空后氫氣保護(hù)的情況下，利用中頻感應(yīng)加熱原理，使位于盤管內(nèi)的鎢坩堝達(dá)到高溫，通過熱輻射傳導(dǎo)到工作中，適用于科研、軍工部門對鎢、鉬及其合金粉末進(jìn)行成型燒結(jié)。安裝爐子的場地應(yīng)符合真空衛(wèi)生要求，周圍空氣清潔干燥，通風(fēng)條件好，工作場所不易揚(yáng)起灰塵等。它的日常使用方法：　　1、檢查控制柜內(nèi)所有零部件及部件是否完好、完好?！　?、控制柜安裝固定在相應(yīng)的基礎(chǔ)上?！　?、查看接線圖，參考電路圖，連接外接主回路和控制回路，可靠接地，保證接線無誤?！　?、檢查電器活動(dòng)部位活動(dòng)自如，無卡死現(xiàn)象?！　?、絕緣電阻不應(yīng)小于2萬億歐姆?！　?、氣相沉積爐各閥門必須在關(guān)閉位置。　　7、控制電源開關(guān)置于斷開位置。　　8、手動(dòng)調(diào)壓旋鈕逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)頭?！　?、將報(bào)警按鈕置于打開位置?！　?0、平面圖完成設(shè)備循環(huán)冷卻水連接時(shí)，建議用戶在氣相沉積爐總進(jìn)出水管處再加一層備用水(可用自來水)，防止循環(huán)水故障或斷電引起密封圈燃燒。