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      • 行業(yè)動(dòng)態(tài)

        聚焦行業(yè)動(dòng)態(tài),洞悉行業(yè)發(fā)展

        氣相沉積爐設(shè)備特點(diǎn)是什么
        發(fā)布時(shí)間:2023-03-06   瀏覽:7674次

          氣相沉積爐設(shè)備特點(diǎn)是什么

          氣相沉積爐適用于化學(xué)氣相沉積法制備碳-碳復(fù)合材料,也可用于以碳?xì)錃怏w(如C3H8等)為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理,或以三氯甲硅烷(MTS)為氣源的材材料料表面抗氧化涂層、基體改性等。

        氣相沉積爐

          裝料方式有上裝料、底裝料、臥式三種裝料方式。該氣相沉積爐設(shè)備特點(diǎn)如下:

          1.多通道沉積氣路,流場(chǎng)均勻,無沉積死角,沉積效果好;

          2.采用先進(jìn)的控制技術(shù),能精密控制MTS的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動(dòng)范圍?。?/p>

          3.氣相沉積爐設(shè)備自動(dòng)化高,關(guān)鍵執(zhí)行電氣件采用進(jìn)口;操作直觀、簡便,觸摸屏經(jīng)過開發(fā),可動(dòng)態(tài)顯示爐子運(yùn)行狀況并具有自我診斷功能,程序段可直接輸入。

          4.采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng)。


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          真空燒結(jié)爐的空氣抽不干凈是啥原因   真空燒結(jié)爐在平時(shí)的試驗(yàn)中如果有液體存在,就需要一個(gè)液體蒸發(fā)的過程(高真空下不需要加熱也能氣化),可以通過長時(shí)間拉真空來氣化掉這部分液體從而達(dá)到高真空(等穩(wěn)定)。如果長時(shí)間都達(dá)不到目標(biāo)氣壓的話,就要考慮系統(tǒng)和羅茨泵了,你可以直接測(cè)一下羅茨泵的極限真空(不接入其他系統(tǒng)),若完好則就是系統(tǒng)的密封性能了。   (1)水冷裝置,真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導(dǎo)別處置(水冷電極)、中間真空隔熱門等部件,均在真空、受熱狀態(tài)下工作。在這種極為不利的條件下工作,必須保證各部件的結(jié)構(gòu)不變形、不損壞,真空密封圈不過熱、不燒毀。因此,真空燒結(jié)爐各部件應(yīng)該根據(jù)不同的情況設(shè)置水冷裝置,以保證真空熱處理爐能夠正常運(yùn)行并有足夠的使用壽命。   (2)采用低電壓大電流:在真空容器內(nèi),當(dāng)真空空度為幾托一lxlo-1托的范圍內(nèi)時(shí),真空容器內(nèi)的通電導(dǎo)體在較高的電壓下,會(huì)產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象。在真空熱處理爐內(nèi),嚴(yán)重的會(huì)產(chǎn)生弧光放電,燒毀電熱元件、隔熱層等,造成重大事故和損失。因此,真空熱處理爐的電熱元件的工作電壓,一般都不超過80一100伏。同時(shí)在電熱元件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)時(shí)要采取有效措施,如盡量避免有***的部件,電極間的間距不能太小窄,以防止輝光放電或者弧光放電的發(fā)生。   (3)大部分加熱與隔熱材料只能在真空狀態(tài)下使用:真空燒結(jié)爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下工作的,因而對(duì)這些材料提出了耐高溫,蒸汽壓低,輻射效果好,導(dǎo)熱系數(shù)小等要求。對(duì)抗氧化性能要求不高。所以,真空熱處理爐廣泛采用了鉭、鎢、鉬和石墨等作加熱與隔熱構(gòu)料。這些材料在大氣狀態(tài)下極易氧化,因此,常規(guī)熱處理爐不能采用這些加熱與隔熱材料。   (4)嚴(yán)格的真空密封:金屬零件進(jìn)行真空熱處理均在密閉的真空燒結(jié)爐內(nèi)進(jìn)行,因此,獲得和維持爐子原定的漏氣率,保證真空爐的工作真空度,對(duì)確保零件真空熱處理的質(zhì)量有著非常重要的意義。所以真空熱處理爐的一個(gè)關(guān)鍵問題,就是要有可靠的真空密封結(jié)構(gòu)。為了保證真空爐的真空性能,在真空熱處理爐結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中必須道循一個(gè)基本原則,就是爐體要采用氣密焊接,同時(shí)在爐體上盡量少開或者不開孔,少采用或者避免采用動(dòng)密封結(jié)構(gòu),以盡量減少真空泄漏的機(jī)會(huì)。安裝在真空爐體上的部件、附件等如水冷電極、熱電偶導(dǎo)出裝置也都必須設(shè)計(jì)密封結(jié)構(gòu)。   (5)自動(dòng)化程度高:真空甩帶爐的自動(dòng)化程度之所以較高,是因?yàn)榻饘俟ぜ募訜?、冷卻等操作,需要十幾個(gè)甚至幾十個(gè)動(dòng)作來完成。這些動(dòng)作內(nèi)在真空熱處理爐內(nèi)進(jìn)行,操作人員無法接近。同時(shí),有些動(dòng)作如加熱保溫結(jié)束后,金屬工件進(jìn)行淬火工序須六個(gè)動(dòng)作并且要在15秒鐘以內(nèi)完成。在這樣迅速的條件來完成許多動(dòng)作,是很容易造成操作人員的緊張而構(gòu)成誤操作。因此,只有較高的目動(dòng)化才能準(zhǔn)確、及時(shí)按程序協(xié)調(diào)動(dòng)。

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